金属学及金属工艺论文_非连续金刚石/Ta基碳化

文章摘要:为提升硬质合金的硬度和耐磨性，改善其与金刚石涂层的结合强度，先用双辉等离子表面合金化技术在其表面制备Ta金属层，后用化学气相沉积法碳化-沉积非连续金刚石/Ta基碳化物复合涂层。研究了源极与工件极电位差对金属层的影响，以及复合涂层的结构与性能。结果表明，制备的金属层均由连续致密的胞状α-Ta组成；随电位差的增大，显微硬度和结合强度均先提升后降低；电位差240 V时硬度与结合强度最高，分别达1151 HV_0.2和117 N；碳化-沉积后，涂层由表面离散分布的非连续金刚石颗粒和Ta_xC(TaC、Ta₂C)组成，显微硬度提高至基体的1.8倍，磨损率仅为基体的45%。非连续金刚石/Ta基碳化物复合涂层具有良好的结合性能，能有效提升硬质合金的硬度和耐磨性能。

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